レーザ結晶装置

专利摘要:
本発明は、周囲に対して内部が密閉されていて、技術的に純粋な雰囲気を含み、且つ動作時にレーザ結晶（６）を透過するレーザ放射（１６）の通行のために複数の側壁（１２’、１３’）内の複数の窓（１２，１３）を含む容器（４）であって、複数の窓（１２，１３）は、レーザ放射（１６）のビーム経路に対してブリュスター角だけ傾いて位置している、容器（４）と、容器（４）の内部に配置されるレーザ結晶（６）のための取り付け部（５）と、を備えるショートパルスレーザのためのレーザ結晶装置（１）であって、複数の窓（１２，１３）は、互いに対してブリュスター角の２倍だけ傾いており、且つ、レーザビームの特性に関してレーザ結晶（６）の位置から適当な距離離れて配置されていて、複数の窓（１２，１３）の位置では、複数の窓（１２，１３）におけるビーム断面積が十分に大きいのでレーザ結晶（６）におけるレーザ放射（１６）のピーク強度と比較した複数の窓（１２，１３）における低いピーク強度を確保して、複数の窓（１２，１３）上の劣化の進行を防止する。
公开号:JP2011512656A
申请号:JP2010546181
申请日:2009-02-18
公开日:2011-04-21
发明作者:アジオン，アンドレアス；スティングル，アンドレアス；トマシュ，アルフレト；バルムト，クリスチャン
申请人:フェムトレーザース プロドゥクシオンズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング；
IPC主号:H01S3-02

专利说明:

[0001] 本発明は、周囲に対して内部が密閉されていて、技術的に純粋な雰囲気を含み、且つ動作時にレーザ結晶を透過するレーザ放射の通行のために側壁に取り付けられた複数の窓を含む容器であって、複数の窓はレーザ放射のビーム経路に対してブリュスター角だけ傾いて位置している容器と、容器の内部に取り付けられるレーザ結晶のための取り付け部と、を備えるショートパルスレーザのためのレーザ結晶装置に関する。そのようなレーザ結晶装置は、米国特許６００２９７Aにより既知である。]
[0002] 更に、本発明は、そのようなレーザ結晶装置を有するレーザ発振器に関する。]
背景技術

[0003] ショートレーザパルスを生成するための最近のレーザ発振器は、低い平均パワーにも関わらず、短いパルス幅のために高いピークパワーを有する。そして、例えば、１００ｆｓよりも短いパルス幅を有するモード結合フェムト秒レーザ発振器の場合、結晶表面におけるフルエンス（fluence）が通常の結晶の破壊閾値よりも十分に低くても、結晶表面の劣化が、レーザ放射の高い強度、即ち高いピークパワー、により起こり得る。そのような結晶表面の損傷は、レーザ動作に乱れをもたらし、結晶に高い吸収を生じさせて、結果として、レーザ結晶の破壊をもたらす。]
[0004] 結晶表面の損傷は、結晶を取り囲む雰囲気及びレーザ放射の強度の関数である。純粋な雰囲気及び／又は低いレーザ強度の場合には、レーザ結晶の劣化が生じない。一方、例えば、電子装置がレーザ装置に近接してガスを放出すると、クリーンルームにおいても劣化の進行が生じ得ることが明らかにされている。]
[0005] 周波数逓倍段階を有するダイオード励起されるレーザが、上述した米国特許６００２９７Aにより既知であり、密閉された容器内に配置されて外部からの水分又は汚染物質の侵入を防止する非線形レーザ結晶が提供されている。具体的には、冷却及び加熱されて水分の吸収及び放出によるレーザ結晶の損傷を防止することがここでの関心事である。また、この目的のために、不活性ガス雰囲気又は乾燥空気が筐体又は容器の内部に供されること、又は、容器の内部が脱気されることが、提供される。レーザ放射に対してブリュスター角に位置するレーザ放射の入り口又は出口のための複数の窓は、通常立方形である容器の正反対に対向する側部に互いに傾いて位置する。そして、このレーザ結晶装置の構造は、比較的複雑且つかさばる。以下に説明される容器の内部の不活性ガス雰囲気の連続したモニタリング及び洗浄は、そこに接続される関連するレーザ装置の動作中の費用にも関わらず、レーザ動作に対して不利益であることも証明される。]
[0006] レーザ増幅器のためのレーザ結晶装置がヨーロッパ特許１０３４５８４Ｂに開示されており、レーザ結晶がきつくカプセルに入れられた容器に格納されており、容器は別個のパイプソケット上にレーザビーム結合窓を有する。ここで、容器の内部は脱気されており、及び／又は、乾燥剤を用いて乾燥が維持されている。レーザ結晶は、ペルチエ素子を用いて強く冷却されて、レーザ結晶が任務を受けているレーザ増幅器の高い効率を達成しており、容器の内部の脱気又は乾燥によって、結晶表面上での凝縮水又は氷が防止されているということがこれらの対策の背景である。]
[0007] しかし、レーザ発振器内のそのような強い冷却が無いと、レーザ結晶の雰囲気が純粋な雰囲気として提供されない場合、結晶表面の劣化が生じ得る。]
[0008] 更に、それを介してレーザ光が結晶に到達し結合して出て行く容器に配置される窓もまた劣化を受けることが示されており、それによって、レーザ結晶が属するレーザ装置の動作にまた障害が生じる。これは、ヨーロッパ特許１０３４５８４Ｂで懸念されているように、レーザ増幅器の場合に特に顕著である。そこでは、ショートパルスレーザ装置と比較して、特に高いピークパワーが生じる。従って、この既知のレーザ増幅器のためのレーザ結晶装置では、ブリュスター角で位置するレーザビーム窓が外部に別個のパイプソケット上に取り付けられる。上述したように、そのようにして、８〜１０ｃｍの大きさで、レーザ結晶への最高になし得る距離が達成される。そして、比較的大きなビーム断面積が、ブリュスターの窓の領域に得られて、この位置における比較的低いピーク強度が得られる。窓における反射は、ブリュスター角（とりわけ、放射の波長又は周波数の関数として知られる）の窓の配置によって、それ自体が無効にされる。]
[0009] 単純で、コンパクトな構造を作ることが可能であり、また、容器の窓に影響を与える劣化による損傷をできるだけ回避するか又は最小にするという、最初に述べたタイプのレーザ結晶装置を設計することが本発明の目的である。]
[0010] 最初に規定されたタイプの本発明に係るレーザ結晶装置は、複数の窓が、互いに対してブリュスター角の２倍だけ傾いて位置しており、且つ、レーザビームの特性に関してレーザ結晶の位置から十分に大きな距離離れて配置されていて、複数の窓の位置では、複数の窓におけるビーム断面積が十分に大きいのでレーザ結晶におけるレーザ放射のピーク強度と比較した複数の窓における低いピーク強度を確保して、複数の窓における劣化の進行を防止することを特徴とする。]
[0011] 本発明のレーザ結晶装置において、非常に単純で、コンパクトで、スペースを節約する構造は、好ましくは角度を有して互いに隣接する側壁内に複数の窓が互いにあり、これらの側壁は互いに対してブリュスター角の２倍で配置される構成に由来する。一方の側壁から他方の側壁への遷移に平坦又は丸みを帯びた領域（遷移面）が配置される場合には、また、スペースを節約する効果を有する。]
[0012] 更に、レーザ放射のために配置される複数の窓（例えば、石英ガラスを有する）は、窓におけるレーザ放射のピーク強度が結晶表面よりも十分に低いように、レーザ結晶に対して配置されて、窓における劣化の進行が防止される。複数の窓におけるレーザ放射の強度の低減又は最小化は、レーザ結晶から複数の窓への対応する間隔によって達成される。レーザビームがレーザ結晶上に合焦しているという状況が用いられている。即ち、レーザビームは、収束する形状を有しており、ちょうど結晶表面におけるよりもレーザ結晶から離れてより大きなビーム断面積を有する。このレーザビーム配置の結果として、通常のエネルギー又は強度のレーザビームに適応して、レーザビームは、レーザ結晶の位置における放射の強度と比較して窓の位置における十分に低い強度を有するので、窓の石英ガラスの表面の損傷が防止される。レーザ結晶から窓までの距離は、主にレーザ放射の合焦の程度に依存する。即ち、収束角が大きい程、距離がより短くなり得る。対照的に、レーザビームの収束がむしろ弱い場合、複数の窓はレーザ結晶から比較的に遠く離れて配置される。もちろん、レーザ放射の基本的パワーも、より正確にはショートパルスの幅に関する所定のピークパワーも、距離の選択において考慮されなければならない。例として、８００ｍｍの波長及び２０ｆｓのパルス幅を有するレーザ放射の場合、１．５ＭＷのピークパワーを有し、およそ３ｍｍ又は８ｍｍのレーザ結晶と複数の窓との間の距離それぞれは、およそ２．３°のレーザ結晶及びその容器の領域におけるレーザビームの収束角（半分の開口角）の場合に十分であることがここで特定され得る。]
[0013] レーザ結晶におけるレーザ放射を合焦する際に、複数の窓の位置におけるビーム直径の拡大は、レーザ結晶から窓までの距離の選択を特定することにより達成される。窓がブリュスター角だけビーム軸に対して傾いて位置すると、この拡大は更に強くなる。レーザビームが窓を通過する領域の拡大は、即座に明らかなように、この傾いた位置によって、窓におけるレーザ放射のピーク強度がまた低減するように、更に達成される。]
[0014] すでに上述したように、レーザ結晶が配置される容器の内部を脱気すること、不活性ガスを用いて容器の内部を洗浄すること、又は、乾燥剤を用いて容器の内部の乾燥を維持することは、既知である。これらの対策は、容器の内部の水分を最小にすることを意図している。しかし、示されているように、レーザ結晶がこの雰囲気によって曇り始めると、結晶表面は、まさに様々な材料、ガス、又は周囲の粒子によって、まさに一般的に損傷され得る。従って、本明細書のレーザ結晶装置では、容器内部が技術的に純粋な雰囲気を含んでおり、それ故、比較的高いレーザ強度の場合でも、レーザ結晶の劣化が生じない。技術的に純粋な雰囲気は、技術的即ち自然に起因するエアロゾルが存在しないことを意味すると理解される。本明細書では、容器が希ガス又は純粋な空気で満たされているか、又は、容器が、希ガスのような高いイオン化ポテンシャルを有するガスを含むことがそれぞれ特に好ましい。高いイオン化ポテンシャルを有するガスのような場合、レーザビームの強度は、分子のイオン化に対して十分ではない。]
[0015] 上述したように、レーザ結晶に近接したレーザ光の高い強度のために、結晶表面の劣化並びにそれによる出力パワーの減少及び不安定なことが生じる。また、極度に注意した容器の密閉、注意した材料の選択、及び所定の部品の長い加熱処理にも関わらず、残っている化学物質の緩やかな放出のために、この劣化を防ぐことができない。これらの材料は、結晶近傍の強い電場により砕けて、粒子が結晶表面に堆積する。この影響を防止するために、本発明は、また、結晶における電場の強度を低減することを提案する。そして、これは、通常よりも大きい厚さを有するレーザ結晶を選択するという発明によって達成される。大きな厚さを有するそのようなレーザ結晶は、結晶表面におけるビーム径を拡大し、パルスを伸ばす結果をもたらす。このようにして、ビーム径とパルス幅の積の逆数に対応して、結晶に隣接する電場強度も実質的に低減される。結晶の厚さの増加は、また、５０ｆｓパルスの場合に有利であることが分かる。具体的には、少なくとも３ｍｍ、特に４〜７ｍｍ、好ましくは４〜６ｍｍ、特に好ましくは５〜６ｍｍの結晶の厚さが、それ故に達成される結晶表面における強度の著しい低減の結果として、寿命及び安定性に関して顕著な結果をもたらすということを実験が示している。]
[0016] 本発明のレーザ結晶装置は、具体的には、モード結合レーザ発振器、好ましくはショートパルスレーザ発振器、特にフェムト秒レーザ発振器のような、非常に様々なレーザ装置において用いられ得る。]
[0017] レーザ結晶及び／又は発振器又は増幅器は、いわば分光鏡を用いて、通常の方法で構成され、また、分光制御のために例えばプリズムを有しても良い。]
[0018] 本発明は、それに制限されることはないが好ましい実施形態に基づいて、図面を参照して、例示を目的に、これからより詳細に説明される。]
図面の簡単な説明

[0019] 図１は、本発明に係るレーザ結晶装置の正面図を示す。
図２は、本発明に係るレーザ結晶装置の上面図を示す。
図３は、本発明に係るレーザ結晶装置の右側面図を示す。
図４は、本発明に係るレーザ結晶装置の左側面図を示す。
図５は、図１〜５のレーザ結晶装置の図１におけるＶ−Ｖ線断面図である。
図６は、図１〜５のレーザ結晶装置の主要部品の模式的な分解図を示す。
図７は、具体的には、レーザ結晶装置のハウジング内で位置又は距離それぞれがｍｍで測定されたレーザビーム径（ｍｍ）対共振器の位置のグラフを示す。
図８は、様々な結晶厚さに対する、レーザビームの強度に比例した値（任意単位）対パルス幅の複数のカーブのグラフを示す。
図９Ａは、本発明のレーザ結晶装置が用いられ得るショートパルスレーザ共振器の配置を模式的に示す。
図９Ｂは、本発明のレーザ結晶装置が用いられ得るショートパルスレーザ共振器の配置を模式的に示す。] 図１ 図２ 図３ 図４ 図５ 図６ 図７ 図８ 図９Ａ 図９Ｂ
実施例

[0020] 図１〜図６に示されるレーザ結晶装置１は、一緒に筐体４を規定するハウジング２及びカバー３、並びに必要不可欠な部品であるレーザ結晶６のための筐体４の内部に取り付けられる取り付け部５を備える。例えば、レーザ結晶６は、それ自体既知であるチタン：サファイア結晶である。例えば、ハウジング２及びカバー３は、アルミニウムーマグネシウム合金を有する。例えば、真空適応Ｏリング８のための周囲シール溝７（図５）が、ハウジング２の上側に配置される。カバー３が、例えばカバー３及びハウジング２の掘削孔１０及び１１それぞれの中にねじ込まれる５つのシリンダヘッドねじ９を用いてハウジング２上に適切に堅くねじで締められると、このＯリング８は筐体４の内部を密閉する。] 図１ 図２ 図３ 図４ 図５ 図６
[0021] 筐体４は、より具体的にはそのハウジング２は、更に２つのブリュスター窓１２、１３を備えている。２つのブリュスター窓１２、１３は、カバー３のためのハウジング２のフランジ状の締め付け用突起部１４の下のハウジング２の２つの側壁１２’、１３’の窪み内に位置する。２つの側壁は、互いに角度を有して配置される。２つの側壁１２’、１３’は、例示の実施形態では、特に図６から見られるように、平坦又は丸みを帯びた領域ｘを介して互いに隣接する。図９Ａ及び図９Ｂから明らかなように、反射されたレーザビームは、レーザ結晶装置１のハウジングをまさに通るように向けられ得る。] 図６ 図９Ａ 図９Ｂ
[0022] ブリュスター窓１２、１３は、真空適応接着剤を用いて、この目的のために側壁１２’、１３’に配置された窪みの中に接着される。ブリュスター窓１２、１３の角度は、可能な限り最も少ないロスに適応している。これに関連して、レーザ結晶６、及びまたレーザ共振器内で複数回反射される励起ビーム１５及び／又はレーザビーム１６が、レーザ結晶６の対応する角度で模式的に示されている添付の図９Ａ及び図９Ｂの模式図も参照のこと。] 図９Ａ 図９Ｂ
[0023] レーザ結晶装置１の内側の部分は、即ち、底部１７及びそこから上方に突出する柱部１８を有する取り付け部５は、角度を有して取り付けられている。柱部１８は、２つの側壁１２’、１３’の間の遷移領域で筐体４の内側に対応して前側が丸みを帯びている。柱部１８は、例えばワイヤ浸食によって形成された、切り欠け１９、２０を有する。その内の低い方の切り欠け１９は、レーザ結晶６を受け入れるために用いられる。それとは対照的に、その上に配置される上方の切り欠け２０は、接触圧力を抜くために配置される。それらの間に位置する部品２１は、レーザ結晶６を固定するために用いられる。部品２１は、若干下側に偏っており、上側から柱部１８の中にねじ込まれる固定ねじ２２を用いてレーザ結晶６を固定している。]
[0024] 底部１７は、２つの縦の皿穴の掘削孔２３を有しており、皿ネジを用いてー図示しないーハウジング２の底２４上に芯出しして、筐体４の内部に取り付け部５をねじで止めることができる（図５）。] 図５
[0025] 更に、ハウジング２は、２つの横の固定フランジ２５，２６を有しており、レーザ結晶６のための密閉された結晶環境を形成するレーザ結晶装置１が、例えば図９Ａに例示として模式的に示されるように、レーザビームが一方の窓１２を通って入り他方の窓１３を通って出て行ける位置において、所定のレーザ装置内に取り付けられ得る。ハウジング２は、例えば、取り付け部５の縦の穴２３が取り付け部５をハウジング２の内部へ取り付ける際に芯出しすることを許容するように、フライス加工によって製造され得る。図面から明らかなように、ハウジング２の断面形状は概ね５角形である。組み立て後には、互いに鈍角で隣接し、窓１２，１３を含むハウジング２の側壁１２’、１３’の領域に、レーザ結晶６が静止する。しかし、対称的な構造は提供されない。一方の入り口又は出口であるレーザ結晶の表面は、他方の入り口又は出口であるレーザ結晶の表面よりも、窓１２のような、隣接する窓により近くに配置される。図９Ａ及び図９Ｂに加えて、このことは、例えばレーザ共振器の、具体的にはレーザ結晶装置１又は筐体４の内部の、位置Ｐ（ｍｍ）に対してレーザビームの半径Ｒ（ｍｍ）のカーブをプロットするダイアグラムが模式的に示される図７から生じる。ハウジング２の窓１２，１３の位置は、３０及び３１に示される。半径は、レーザ結晶６の領域３２において最小となる。結晶表面では、半径は０．０２ｍｍである。一方の窓の位置３０は隣接するレーザ結晶６の前側から約３ｍｍの距離に位置しているが、対照的に、他方の窓の位置３１はそれに向かって対向するレーザ結晶の前側から約８ｍｍの距離を有することが、ｘ軸から読み取られ得る。] 図７ 図９Ａ 図９Ｂ
[0026] 密閉されたレーザ結晶装置１の組み立ての間には、窓１２，１３がハウジング２の側壁の窪みの中に接着され、取り付け部５がハウジング２の中にネジで止められ、Ｏリング８がハウジング２の上側の溝７の中に置かれ、カバー３がハウジング２の上に置かれてシリンダヘッドねじ９を用いて固定される。]
[0027] その後、ハウジング２は、脱気され、そして高いイオン化ポテンシャルを有するガス、具体的には希ガス、を用いて満たされ得る。しかし、窓１２，１３の上に堆積する粒子等が窓１２，１３の劣化をもたらさないように、窓１２，１３の領域に比較的低い強度が与えられることにより、図７に示されたように、窓１２，１３からレーザ結晶装置６までの距離を十分に大きくして窓１２，１３における対応する大きなビーム径が確保された場合には、純水な空気が筐体４を満たすことは完全に適切であることが示されている。] 図７
[0028] レーザ結晶６に関しては、それは、パルス幅Ｔに依存して、好ましく３ｍｍよりも大きく、特に４ｍｍよりも大きく、比較的大きな厚さを有し得る。図８も参照のこと。５つのカーブ３３〜３７（５つの異なる結晶厚さに対する）が、パルス幅Ｔ（フェムト秒）に対する任意単位（ａ．ｕ．）の強度値Ｉに対して、この図８にはプロットされている。強度値Ｉは、レーザ結晶６におけるレーザビームの強度に比例する。レーザ結晶厚さ３ｍｍ（カーブ３３）を用いた約２０ｆｓの非常に短いパルス幅Ｔにおいて、強度がまだ比較的大きいものの、強度はパルス幅Ｔの増加と共に減少することが明らかである。対照的には、例えば、４ｍｍ（カーブ３４）又は５ｍｍ（カーブ３５）、特に６ｍｍ（カーブ３６）又は７ｍｍ（カーブ３７）という幾分大きな結晶厚さでは、また特に２０ｆｓのパルス幅Ｔにおいて、より小さな強度の増加が認識されるが、３ｍｍ（カーブ３３）の結晶厚さにおける強度の半分の大きさの値を有するに過ぎない。この結晶表面のレーザビームの強度の減少によって、結晶表面に堆積した粒子等の有害性を防止することも可能である。] 図８
[0029] 最後に、様々なレーザ共振器の配置が、図９Ａ及び図９Ｂに示される。これらの配置は、モード結合ショートパルスレーザ４０，４１を組み込むために与えられる。各ケースでは、通常の励起レーザ（図示せず）から発生する励起ビーム１５を用いるいわば既知の方法で、鏡Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４及び任意に更にＭ５及びＭ６を用いて、パルスレーザビームが発振器で生成される。鏡Ｍ１は励起ビーム１５に対しては透明であるが、レーザビーム１６に対しては透明ではなく、レーザビーム１６は例えば凹面であるその鏡面で反射される。鏡Ｍ４は、例えばレーザビーム成分４３が外結合される外結合鏡を形成するように、部分的に反射する鏡として実現される。このことは、両側分離が望まれる場合にはレーザビーム成分４４が外結合され得る鏡Ｍ６に対しても任意に同様に適用される。図９Ｂを参照のこと。このタイプのショートパルスレーザ装置はいわば十分に既知であるので、ここでは、更なるその説明は省かれる。更に、所定のレーザビームの方向に対してブリュスター角ａ（レーザ放射の波長の関数である）にある窓１２、１３又は側壁１２’、１３’の配置は、図９Ａ及び図９Ｂから認識される。それは、２つの側壁１２’、１３’が互いに２倍のブリュスター角２ａで延びていなくてはならない結果である。（レーザ放射は、存在するレーザ結晶装置１の通過による波長又は分極の変化がない）] 図９Ａ 図９Ｂ

权利要求:

請求項1
周囲に対して内部が密閉されていて、技術的に純粋な雰囲気を含み、且つ動作時にレーザ結晶（６）を透過するレーザ放射（１６）の通行のために複数の側壁（１２’、１３’）に取り付けられた複数の窓（１２，１３）を含む容器（４）であって、前記複数の窓（１２，１３）は、前記レーザ放射（１６）のビーム経路に対してブリュスター角だけ傾いて位置している、容器（４）と、前記容器（４）の内部に取り付けられる前記レーザ結晶（６）のための取り付け部（５）と、を備えるショートパルスレーザのためのレーザ結晶装置（１）であって、前記複数の窓（１２，１３）は、互いに対してブリュスター角の２倍だけ傾いて位置しており、且つ、レーザビームの特性に関して前記レーザ結晶（６）の位置から十分に大きな距離離れて配置されていて、前記複数の窓（１２，１３）の位置では、前記複数の窓（１２，１３）におけるビーム断面積が十分に大きいので前記レーザ結晶（６）における前記レーザ放射（１６）のピーク強度と比較した前記複数の窓（１２，１３）における低いピーク強度を確保して、前記複数の窓（１２，１３）における劣化の進行を防止することを特徴とするレーザ結晶装置。
請求項2
前記複数の窓（１２、１３）が位置する前記複数の側壁（１２’、１３’）は、互いに隣接することを特徴とする請求項１に記載のレーザ結晶装置。
請求項3
一方の側壁から他方の側壁への遷移領域には、平坦又は丸みを帯びた領域が配置されることを特徴とする請求項２に記載のレーザ結晶装置。
請求項4
前記容器（４）は、高いイオン化ポテンシャルを有するガスを含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ結晶装置。
請求項5
前記容器（４）は、希ガス雰囲気を含むことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のレーザ結晶装置。
請求項6
前記容器（４）は、純粋な空気を含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ結晶装置。
請求項7
前記複数の窓（１２，１３）は、前記レーザ結晶（６）の位置から、数ｍｍ、例えば少なくとも３ｍｍ、の距離離れて配置されることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載のレーザ結晶装置。
請求項8
少なくとも約３ｍｍ、好ましくは４ｍｍと７ｍｍとの間、の厚さを有する前記レーザ結晶（６）が前記取り付け部（５）に取り付けられることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載のレーザ結晶装置。
請求項9
請求項１〜８の何れか一項に記載のレーザ結晶装置に従って設計されたレーザ結晶装置（１）を有することを特徴とするモード結合ショートパルスレーザ発振器（４０、４１）。
請求項10
フェムト秒レーザ発振器としての構成を特徴とする請求項９に記載のショートパルスレーザ発振器（４０、４１）。